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自德国科学家E.W.Muller于1936年发明“场致发射显微镜(FEM)”,场致发射显微术就开始显示出它的巨大威力。FEM具有20A的空间分辨率和精确测定样品表面功函数及其变化的能力,这使它成为最早以微观尺度研究固体表面的工具之一,对表面科学的建立与发展起了巨大的推动作用。Muller于1955年使它达到了原子分辨率(2.5~3(?)),成为世界上第一个亲眼看见原子的人。在此之后近二十年中,FIM一直是唯一能实现原子尺度空间分辨率的显微技术,因而受到各发达工业国家的高度重视。1967年Muller用高压脉冲离化脱附样品表面粒子,配合以飞行时间质谱鉴别其元素,把飞行时级质谱与FIM结合起来,创造了“高压脉冲直线式原子
一丁. 场致发射显微分析综合系统介绍[J]. , 1991, 30(3): 0-0.